oe-29-3-3342.pdf Public

Description du fichier

Déposé par

Ryan W Caillet

Déposé le

2022-08-30

Modifié le

2022-08-30

Vérification de la fixité

Fixity checks have not yet been run on this object

Caractérisation

File Format: pdf (PDF/A)

File Title: Coherent Fourier scatterometry using orbital angular momentum beams for defect detection

Page Count: 17

File Size: 4545287

Original Checksum: 8efdfdf7bb404a738e09d0f7daf115c3

Mime Type: application/pdf